產品名稱：等離子體增強型化學氣相沉積PECVD

供電電源

AC220V 50Hz (歐標)

射頻電源

信號頻率

13.56MHz

功率輸出范圍

0~500W

*大反射功率

100W

反射功率 (在*大功率時)

<5W

功率穩定性

±0.1%

工作腔體

加熱溫度

RT-1000℃

溫控精度

±1℃

樣品臺尺寸

Φ200mm

樣品臺轉速

1-20rpm 可調

噴頭尺寸

Φ90mm

距離

噴頭與樣品之間的距離40-100mm連續可調

沉積工作真空

0. 133- 133Pa （可根據工藝調整）

法蘭

上法蘭可由電機升降，基材易更換，并有可視窗口

腔體

不銹鋼材質, Φ500mm * 500mm

觀察窗

Φ100mm, 帶擋板

供氣系統

通道數

6

測量單位

質量流量計

測量范圍

A 通道: 0～200SCCM for H2  

B 通道: 0～200SCCM for CH4

C 通道: 0～200SCCM for C2H4

D通道: 0～500SCCM for N2

E通道: 0～500SCCM for NH3

F通道: 0～500SCCM for Ar

測量精度

±1.5%F.S

工作壓差

-0.15Mpa~0.15Mpa

連接管材質

304 不銹鋼

氣路

304 不銹鋼針閥

進氣和出氣接口規格

1/4" 卡套接頭

真空系統

前級泵抽速

4.7L/s

分子泵抽速

1200L/s

真空測量

復合真空計, 范圍10-5Pa ~ 105Pa

真空度

5.0*10-3Pa

水冷機

冷卻水溫度

≦37℃

水流速

10L/min

功率

0.1KW

冷卻功率

50W/℃

空壓機

OTS-550