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        CVD氣相沉積系統(tǒng)
        • ALD原子層沉積系統(tǒng) 原子層沉積(ALD)系統(tǒng)是一種用于在基板表面沉積超薄膜的精密設(shè)備,具有原子級(jí)別的厚度控制能力。ALD系統(tǒng)通常用于半導(dǎo)體制...
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        • R-PECVD?真空旋... R-PECVD真空旋轉(zhuǎn)等離子增強(qiáng)CVD設(shè)備由旋轉(zhuǎn)及傾斜機(jī)構(gòu)、單溫區(qū)管式爐、等離子發(fā)生機(jī)構(gòu)、質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng)、高真空分子...
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