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產品名稱：加熱型勻膠機
產品型號：CY-SPC8-SS
產品廠商：成越科儀
產品文檔：

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簡單介紹：

本加熱型勻膠機主要利用離心涂覆原理將液態或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，該工藝在材料研究領域有著廣泛的應用。本加熱型勻膠機的工作腔體為聚四氟（塑料王）材質，它是由四氟乙烯經聚合而成的高分子化合物，具有優良的化學穩定性和極強的耐腐蝕性，已廣泛應用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。本加熱型勻膠機內安裝有真空數字傳感器，涂敷過程中可實時檢測系統真空度，控制器必須在合適的真空度下電機才可以正常啟動和運行。這樣可以有效保障：可靠吸片并杜絕飛片事故的發生。

詳情介紹：

加熱型旋轉涂覆儀采用全鋁合金腔體，美觀堅固。儀器采用先進的精密電機，轉速能達到10000轉/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能，本品還配有加熱組件，可以加熱到200℃，由智能溫控表控溫，溫度測定準確，升溫過程完全可控。另外本儀器采用觸控屏控制，可以預設勻膠曲線，大大簡化了使用過程降低了學習成本，十分適合實驗室選購。加熱型旋轉涂覆儀加熱型旋轉涂覆儀可以將液態或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應用于光刻膠旋涂、生物培養基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。

加熱型旋轉涂覆儀技術參數：

	項目	明細
旋涂儀	供電電壓	AC220V，50Hz
	轉速	0~10000rpm
	加速度	100~5000rpm/s
	轉速分辨率	1rpm
	單步時間	3000s
	基片尺寸	直徑≤8英寸（200mm）
	腔體材質	鋁合金
	加熱溫度	≤200℃
	控溫方式	AIP智能控溫
	操作方式	7寸高清LCD觸控屏
	滴膠方式	手動滴膠，可選購精密注射泵
	勻膠曲線	每條曲線5段，共可儲存5條曲線
	抽氣接口	φ6mm 快擰接口
	整機尺寸	290mm×365mm×300mm
	整機重量	12kg
排氣系統	真空泵	干式機械泵
	抽氣速率	50L/min
	供電電源	AC220V 50/60Hz

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