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小型雙爐體滑道管式爐同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建CVD系統(tǒng)。
該設備可用于石墨烯制備、硫化物制備等。
小型雙爐體滑道管式爐技術參數(shù)：
微
型
管
式
爐
產(chǎn)品型號
CY-O1200-50SDM
爐管材質(zhì)
高純石英
爐管直徑
50mm
爐管長度
1400mm
加熱區(qū)長
300mm
恒溫區(qū)長
200mm
工作溫度
0～1100℃
控溫精度
±1℃
控溫模式
30段或50段程序控溫
顯示模式
高亮數(shù)碼管數(shù)字顯示
密封方式
304不銹鋼真空法蘭
法蘭接口
1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭
可抽真空
4.4E-3Pa
供電電源
AC:220V 50/60Hz
供
氣
系
統(tǒng)
產(chǎn)品型號
CY-3Z
氣體通道
3通道
測量部件
氣體質(zhì)量流量計
測量量程
A通道：0～100SCCM H2氣
備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。
B通道：0～300SCCM N2氣
C通道：0～500SCCM Ar氣
測量精度
±1.0%F.S
管道耐壓
3MPa
工作壓差
50～300KPa
連接管道
304不銹鋼
控制閥門
304不銹鋼針閥
接口規(guī)格
進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
供電電源
AC:220V 50/60Hz
排
氣
系
統(tǒng)
機械泵
旋片泵
抽氣速率
4L/S
排氣接口
KF16
真空測量
電阻規(guī)
極限真空
1.0E-1Pa
供電電源
AC:220V 50/60Hz
抽氣接口
KF16
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