產品名稱：1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD系統

產品介紹：

      1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD系統由單溫區管式爐、三路質量流量計和高真空分子泵租組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫，可編輯30段升降溫程序，同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表，可以用來控制路管內的氣氛環境。同時1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。

       系統所配有的三路質量流量計，精度高可靠性強，可以混合1-3路氣體，操作面板采用數字顯示，直觀高效，若客戶有特殊需要也可以聯系技術人員定制任意數量的氣路。 

適用范圍：

適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

技術參數：

真 空 管 式 爐	產品型號	CY-O1200-50IT
	爐管材質	高純石英
	爐管直徑	50mm（可選配60mm、80mm、100mm）
	爐管長度	800mm
	爐膛長度	440mm
	加熱區長	400mm
	恒溫區長	200mm
	工作溫度	0～1100℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段或50段程序控溫
	顯示模式	LCD
	密封方式	304不銹鋼真空法蘭
	法蘭接口	1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
供 氣 系 統	產品型號	CY-3Z
	氣體通道	3通道
	測量部件	氣體質量流量計
	測量量程	A通道：0～100SCCM    H2氣		備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。
		B通道：0～300SCCM    N2氣
		C通道：0～500SCCM    Ar氣
	測量精度	±1.0%F.S
	管道耐壓	3MPa
	工作壓差	50～300KPa
	連接管道	304不銹鋼
	控制閥門	304不銹鋼針閥
	接口規格	進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
排 氣 系 統	產品型號	CY-GZK103-A
	分子泵	CY-600
	前極泵	旋片泵
	抽氣速率	分子泵：600L/S	綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達：1.0E-3Pa
		旋片泵：1.1L/S
	抽氣接口	KF40
	排氣接口	KF16
	真空測量	復合真空計：電阻規+電離規
	極限真空	1.0E-5Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz

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