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        產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:1200℃雙溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)

        • 產(chǎn)品型號:CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        1200℃雙溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐兩個溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨立控溫,通過調(diào)節(jié)各個溫區(qū)的溫度,該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成兩段溫度梯度或是形成較長的恒溫區(qū)域。每個溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。1200℃雙溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制爐管內(nèi)的氣氛環(huán)境。
        詳情介紹:

        1200℃雙溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。

        系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計,可以較為準(zhǔn)確的配制出實驗所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計正面,可以監(jiān)測氣體壓力及混合槽壓力。

        適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。

        技術(shù)參數(shù):

        產(chǎn)品型號

        CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q

        爐管材質(zhì)

        高純石英

        爐管直徑

        50mm(可選配60mm80mm100mm

        爐管長度

        1000mm

        爐膛長度

        440mm

        加熱區(qū)長

        200mm+200mm

        工作溫度

        01100

        控溫精度

        ±1

        控溫模式

        30段或50段程序控溫

        顯示模式

        LCD

        密封方式

        304不銹鋼真空法蘭

        法蘭接口

        1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

        可抽真空

        4.4E-3Pa

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz

        統(tǒng)

        產(chǎn)品型號

        CY-3F

        氣體通道

        3通道

        測量部件

        氣體浮子流量計

        測量量程

        A通道:0100ml/min   H2

        備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計。

        B通道:16160ml/min   N2

        C通道:25250ml/min   Ar

        測量精度

        ±2.0%

        管道耐壓

        3MPa

        工作壓差

        50300KPa

        連接管道

        304不銹鋼

        控制閥門

        304不銹鋼針閥

        接口規(guī)格

        進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

        統(tǒng)

        機械泵

        旋片泵

        抽氣速率

        1.1L/S   

        排氣接口

        KF16

        真空測量

        電阻規(guī)

        極限真空

        1.0E-1Pa

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz

        抽氣接口

        KF16


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