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1200℃雙溫區3路質量供氣高真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。
系統所配有的三路質量流量計，精度高可靠性強，可以準確混合1~3路氣體，操作面板采用數字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯系技術人員定制任意數量的氣路。
本系統還配有精密分子泵組，可以達到1.0E-3pa級別的真空度，較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環境。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
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真 空 管 式 爐 |
產品型號 |
CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q |
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爐管材質 |
高純石英 |
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爐管直徑 |
50mm（可選配60mm、80mm、100mm） |
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爐管長度 |
1000mm |
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爐膛長度 |
440mm |
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加熱區長 |
200mm+200mm |
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工作溫度 |
0～1100℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫模式 |
30段或50段程序控溫 |
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顯示模式 |
LCD |
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密封方式 |
304不銹鋼真空法蘭 |
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法蘭接口 |
1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 |
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可抽真空 |
4.4E-3Pa |
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供電電源 |
AC:220V 50/60Hz |
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供 氣 系 統 |
產品型號 |
CY-3Z |
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氣體通道 |
3通道 |
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測量部件 |
氣體質量流量計 |
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測量量程 |
A通道：0～100SCCM H2氣 |
備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 |
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B通道：0～300SCCM N2氣 |
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C通道：0～500SCCM Ar氣 |
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測量精度 |
±1.0%F.S |
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管道耐壓 |
3MPa |
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工作壓差 |
50～300KPa |
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連接管道 |
304不銹鋼 |
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控制閥門 |
304不銹鋼針閥 |
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接口規格 |
進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 |
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供電電源 |
AC:220V 50/60Hz |
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排 氣 系 統 |
產品型號 |
CY-GZK103-A |
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分子泵 |
CY-600 |
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前極泵 |
旋片泵 |
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抽氣速率 |
分子泵：600L/S |
綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達：1.0E-3Pa |
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旋片泵：1.1L/S |
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抽氣接口 |
KF40 |
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排氣接口 |
KF16 |
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真空測量 |
復合真空計：電阻規+電離規 |
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極限真空 |
1.0E-5Pa |
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供電電源 |
AC:220V 50/60Hz |
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