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CY-MSP300S-3RF三靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)為我公司研發的實驗室專用鍍膜儀，設備可選配直流電源，和射頻電源，功率從500W-1000W不等，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜等。
磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優點，鍍膜速率高，樣品溫升低，是典型的高速低溫濺射。磁控靶配有水冷夾層，水冷機能夠有效的帶走熱量，避免熱量在靶面聚集，使磁控鍍膜能長時間穩定工作。
設備經過緊湊化設計，實現了體積與性能的平衡，造型美觀功能齊全。整機均采用觸控屏控制，內置一鍵式鍍膜程序，操作簡單易上手，是一款實驗室制備薄膜的理想設備。
技術參數：
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項目 |
明細 |
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產品型號 |
CY-MSH300-III-RFRFRF-SS |
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供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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整機功率 |
4KW |
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系統真空 |
≦5×10-4Pa |
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樣品臺 |
尺寸 |
φ140mm |
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控溫精度 |
±1℃ |
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加熱溫度 |
*高500℃ |
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轉速 |
1-20rpm可調 |
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磁控濺射頭 |
數量 |
2” x3 （1”,2”可選） |
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水冷機規格 |
10L/min流速的循環水冷機 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
Dia.300mm×300mm |
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觀察窗口 |
φ100mm |
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開啟方式 |
上頂開式 |
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腔體材料 |
不銹鋼 |
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質量流量計 |
2路；量程100sccm；100sccm（可根據客戶需要定制多路氣路） |
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真空系統
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產品型號 |
CY-GZK103-A |
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抽氣接口 |
CF160 |
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分子泵 |
CY-600 |
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排氣接口 |
KF40 |
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前極泵 |
旋片泵 |
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真空測量 |
復合真空計 |
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極限真空 |
1.0E-5Pa |
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供電電源 |
AC;220V 50/60Hz |
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抽氣速率 |
分子泵：600L/S 旋片泵：1.1L/S 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達： 1.0E-3Pa |
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電源配置 |
數量 |
射頻電源 x3 |
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*大輸出功率 |
射頻電源500W |
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膜厚測量 |
可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ? |
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控制系統 |
CYKY自研專業級控制系統 |
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整機尺寸 |
600mm X 650mm X 1280mm |
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整機重量 |
300kg |
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