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膜厚控制儀
技術特點：
1. 全觸屏操作，簡單易用；
2.32個膜系，每膜系50/100層自動鍍膜；
3. 12路信號輸入/12路開關量輸出；
4. 提供全自動、半自動、手動控制模式;
5.可控制2個源，一套工作另一套預溶；
技術參數：
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CY-FDC-S控制儀 |
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晶振頻率 |
6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體) |
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顯示方式 |
5”彩色觸屏+數碼管顯示速率和實厚 |
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操作方式 |
觸摸屏 |
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終 厚 |
00μ0000?-99μ9999? |
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厚度顯示分辨率 |
1?/s |
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速率顯示分辨率 |
0.1?/s |
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鍍膜層數 |
32膜系，每膜系50/100層； |
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探頭數量 |
A B |
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工具因子 |
0.01-99.99 |
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時間顯示 |
00:00:00-23:59:59 H:M:S |
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功率顯示 |
0～99.9% |
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預熔功率 |
0～99% |
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預鍍功率 |
0～99.9% |
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預熔時間/預鍍時間 |
0～99:99 m:s |
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預熔保溫時間 /預鍍保溫時間 |
0～99:99 m:s |
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鍍膜速率（設定速率） |
0～999.9?/s |
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材料存儲 |
257+自定義10種 |
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通 訊 |
RS232/RS485 |
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可控蒸發源 |
2個，可一套工作另一套預溶 |
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輸出控制 |
±10V/5V/2.5V |
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I/接口 |
12路信號輸入/12路開關量輸出 |
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可控坩堝數量 |
1-16個 |
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鍍膜顯示 |
速率曲線/數值 |
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鍍膜巡回次數 |
每膜系50/100層自動 |
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機箱尺寸 |
480×280×89mm(2U 19”機箱) |
特殊功能：
1、手動、半自動、自動3種鍍膜模式，滿足多種鍍膜機配置；
2、人工停止鍍膜：鍍膜過程中人工終止鍍膜；
3、手動控制：確定初次鍍膜工藝要求；
4、中斷膜系：自動和半自動鍍膜中發現問題或出現故障，能停止鍍膜并能自動保存當前狀態，待故障**后，可從中斷膜系繼續鍍膜；
5、自動或半自動鍍膜時，如晶振失效，可選擇按終止鍍膜、按當前功率時間鍍膜、切換晶片繼續（多晶片探頭）；
6、兩個源同時預熔：當前層鍍膜開始過程中，可選擇同時對第2層進行預熔，以滿足對時間要求緊張的場合；
7、密碼保護：膜系和膜層參數密碼保護功能，保護工藝參數不被非工藝人員修改；
8、鍍膜數據記錄：自動或半自動鍍膜時，系統可記錄每層膜的成膜時間、*終厚度速率參數。
