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產品名稱：等離子測試系統
產品型號：CY-PLT30-A
產品廠商：成越科儀
產品文檔：

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簡單介紹：

本設備為客戶定制等離子測試設備。設備主要部件為一個電感耦合的等離子發生器，發生器能夠在電感線圈內部的石英管內產生等離子體，石英管兩側的法蘭配有觀察窗，用戶可以在觀察窗上觀察實驗現象或者用其他儀器測量相關參數。設備采用觸控屏控制，屏幕集成所有實驗功能，如抽放真空、流量控制、射頻電源調節等。同時電感線圈采用水冷設計，外殼另有散熱風扇，保證了整套設備長時間工作的穩定性。該設備是高校實驗室進行等離子體相關性質研究的必備儀器。

詳情介紹：

技術規格：

供電電壓

AC220V，50Hz

*大功率

1KW

耦合方式

電感耦合

石英腔體

O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3.5mm

觀察窗尺寸

φ30mm

真空接口

KF16

進氣口接口

6.35mm 卡套接頭

質量流量計

Ar標定量程100sccm

真空泵

雙極旋片真空泵

極限真空度

0.1Pa

冷卻方式

水冷銅管+風冷殼體

射頻電源

*大輸出功率300W

自動匹配

頻率13.56MHz

整機尺寸

560mm X 620mm X 620mm

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*大功率	1KW
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觀察窗尺寸	φ30mm
真空接口	KF16
進氣口接口	6.35mm 卡套接頭
質量流量計	Ar標定量程100sccm
真空泵	雙極旋片真空泵
極限真空度	0.1Pa
冷卻方式	水冷銅管+風冷殼體
射頻電源	*大輸出功率300W 自動匹配頻率13.56MHz
整機尺寸	560mm X 620mm X 620mm

產品名稱：等離子測試系統