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產(chǎn)品名稱：等離子測試系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)：CY-PLT30-A
產(chǎn)品廠商：成越科儀
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

本設(shè)備為客戶定制等離子測試設(shè)備。設(shè)備主要部件為一個(gè)電感耦合的等離子發(fā)生器，發(fā)生器能夠在電感線圈內(nèi)部的石英管內(nèi)產(chǎn)生等離子體，石英管兩側(cè)的法蘭配有觀察窗，用戶可以在觀察窗上觀察實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象或者用其他儀器測量相關(guān)參數(shù)。設(shè)備采用觸控屏控制，屏幕集成所有實(shí)驗(yàn)功能，如抽放真空、流量控制、射頻電源調(diào)節(jié)等。同時(shí)電感線圈采用水冷設(shè)計(jì)，外殼另有散熱風(fēng)扇，保證了整套設(shè)備長時(shí)間工作的穩(wěn)定性。該設(shè)備是高校實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行等離子體相關(guān)性質(zhì)研究的必備儀器。

詳情介紹：

技術(shù)規(guī)格：

供電電壓

AC220V，50Hz

*大功率

1KW

耦合方式

電感耦合

石英腔體

O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3.5mm

觀察窗尺寸

φ30mm

真空接口

KF16

進(jìn)氣口接口

6.35mm 卡套接頭

質(zhì)量流量計(jì)

Ar標(biāo)定量程100sccm

真空泵

雙極旋片真空泵

極限真空度

0.1Pa

冷卻方式

水冷銅管+風(fēng)冷殼體

射頻電源

*大輸出功率300W

自動(dòng)匹配

頻率13.56MHz

整機(jī)尺寸

560mm X 620mm X 620mm

相關(guān)產(chǎn)品

供電電壓	AC220V，50Hz
*大功率	1KW
耦合方式	電感耦合
石英腔體	O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3.5mm
觀察窗尺寸	φ30mm
真空接口	KF16
進(jìn)氣口接口	6.35mm 卡套接頭
質(zhì)量流量計(jì)	Ar標(biāo)定量程100sccm
真空泵	雙極旋片真空泵
極限真空度	0.1Pa
冷卻方式	水冷銅管+風(fēng)冷殼體
射頻電源	*大輸出功率300W 自動(dòng)匹配頻率13.56MHz
整機(jī)尺寸	560mm X 620mm X 620mm

產(chǎn)品名稱：等離子測試系統(tǒng)