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產品名稱：桌面型單靶磁控鍍膜儀（鍍鋁型）
產品型號：CY-MSZ180-I-DC-Q
產品廠商：成越科儀
產品文檔：

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簡單介紹：

本設備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計，將設備外形限制在了桌面級別，大大減少了安裝場地需求。設備配有一個高性能直流電源，具有煉靶功能，有效去除鋁靶表面的氧化層，十分適合鍍鋁等對空氣十分敏感的材料。本設備結構緊湊功能完善便于使用，非常適合用于各類鍍膜試驗。

詳情介紹：

技術參數：

產品名稱

桌面型單靶磁控鍍膜儀（鍍鋁型）

產品型號

CY-MSZ180-I-DC-Q

樣品臺

外形尺寸

φ100mm

加熱溫度

≦500℃

可調轉速

≦20rpm

磁控靶槍

配兩支兩英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50.8mm，厚度≦3mm

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X215mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

高純石英

開啟方式

上蓋拆卸式

真空系統

前級泵

低噪音雙極旋片泵

分子泵

低噪音大抽速渦輪分子泵

真空測量

復合真空計，量程:10^-5~10⁵Pa

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

系統真空

1.0×10^-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵抽速600L/s，前級泵抽速1.1L/s

電源配置

電源數量

直流電源一套

輸出功率

500W

其他參數

供電電壓

AC220V,50Hz

整機功率

2kW

整機尺寸

550mm X 350mm X400mm

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產品名稱	桌面型單靶磁控鍍膜儀（鍍鋁型）
產品型號	CY-MSZ180-I-DC-Q
樣品臺	外形尺寸	φ100mm
	加熱溫度	≦500℃
	可調轉速	≦20rpm
磁控靶槍	配兩支兩英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50.8mm，厚度≦3mm
真空腔體	腔體尺寸	φ180mm X215mm
	觀察窗口	全向透明
	腔體材料	高純石英
	開啟方式	上蓋拆卸式
真空系統	前級泵	低噪音雙極旋片泵
	分子泵	低噪音大抽速渦輪分子泵
	真空測量	復合真空計，量程:10^-5~10⁵Pa
	抽氣接口	KF16
	抽氣接口	KF40
	排氣接口	KF16
	系統真空	1.0×10^-4Pa
	供電電源	AC 220V 50/60Hz
	抽氣速率	分子泵抽速600L/s，前級泵抽速1.1L/s
電源配置	電源數量	直流電源一套
電源配置	輸出功率	500W
其他參數	供電電壓	AC220V,50Hz
	整機功率	2kW
	整機尺寸	550mm X 350mm X400mm

產品名稱：桌面型單靶磁控鍍膜儀（鍍鋁型）