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        產品詳情
        • 產品名稱:?雙靶DCRF磁控濺射鍍膜儀(往復樣品臺)

        • 產品型號:CY-MSH500S-100F-II-DCRF-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        ?雙靶DCRF磁控濺射鍍膜儀(往復樣品臺)配有一臺直流電源,一臺射頻電源,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜等往復式設計,?雙靶DCRF磁控濺射鍍膜儀(往復樣品臺)的樣品臺采用往復式設計,左側配有磁力耦合推桿,可將樣品臺左右推動。
        詳情介紹:
        CY-MSH500S-100F-II-DCRF-SS往復樣品臺型雙磁控濺射鍍膜儀(直流+射頻)雙靶磁控濺射鍍膜儀為我公司研發的配有兩個靶位的實驗室專用鍍膜儀,設備配有一臺直流電源,一臺射頻電源,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜等。
        磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優點,鍍膜速率高,樣品溫升低,是典型的高速低溫濺射。磁控靶配有水冷夾層,水冷機能夠有效的帶走熱量,避免熱量在靶面聚集,使磁控鍍膜能長時間穩定工作。本型號樣品臺采用往復式設計,左側配有磁力耦合推桿,可將樣品臺左右推動。整機均采用觸控屏控制,內置一鍵式鍍膜程序,操作簡單易上手,是實驗室制備薄膜的理想設備

        技術參數:

        項目

        明細

        產品型號

        CY-MSH500S-100F-II-DCRF-SS

        供電電壓

        AC220V50Hz

        整機功率

        4KW

        極限真空度

        5x10-4Pa

        載樣臺參數

        尺寸

        100mm x 100mm

        往復行程

        200mm

        磁控濺射頭參數

        數量

        22”磁控濺射頭

        冷卻方式

        水冷,所需流速10L/min

        水冷機規格

        10L/min流速的循環水冷機

        真空腔體

        腔體尺寸

        φ500mm X 490mm H

        腔體材料

        不銹鋼

        觀察窗口

        φ100mm

        開啟方式

        前開門式

        氣體流量控制器

        1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM  Ar  

        真空泵

        配有一套分子泵系統,抽速600L/S

        膜厚儀

        石英振動薄膜測厚儀一臺,分辨率0.10 ?

        濺射電源

        直流電源1臺,500W,適用于制備金屬膜

        射頻電源1臺,500W,適用于非金屬鍍膜

        操作方式

        CYKY自研專業級控制系統

        整機尺寸

        1090mm X 900mm X 1250mm

        整機重量

        350kg




        豫公網安備 41019702002438號

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