產品名稱：雙靶DCRF磁控濺射鍍膜儀(靶下置型)

技術參數：

項目		明細
產品型號		CY-MSH500X-II-DCRF-SS
供電電壓		AC220V，50Hz
整機功率		6KW
極限真空度		5x10-4Pa
載樣臺參數	尺寸	150mm
	高度	上下70mm**可調
	加熱溫度	≤500℃
	轉速	1-20rpm
磁控濺射頭參數	數量	2個2”磁控濺射頭
	冷卻方式	水冷，所需流速10L/min
	水冷機規格	10L/min流速的循環水冷機
真空腔體	腔體尺寸	φ500mm X 490mm H
	腔體材料	不銹鋼
	觀察窗口	φ100mm
	開啟方式	前開門式
氣體流量控制器		1路質量流量計用于控制Ar流量，量程為:200SCCM  Ar；
真空泵		配有一套分子泵系統，抽速600L/S
膜厚儀		石英振動薄膜測厚儀一臺，分辨率0.10 ?
濺射電源		直流電源1臺，500W，適用于制備金屬膜 射頻電源1臺，500W，適用于非金屬鍍膜
操作方式		CYKY自研專業級控制系統
整機尺寸		1090mm X 900mm X 1250mm
整機重量		350kg