產(chǎn)品名稱：擺臂勻膠機(jī)旋涂儀

擺臂勻膠機(jī)主要利用離心涂覆原理將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，該工藝在材料研究領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。儀器采用先進(jìn)的精密電機(jī)，轉(zhuǎn)速能達(dá)到10000轉(zhuǎn)/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能，本品帶有擺臂，可通過擺臂和蠕動泵的結(jié)合實現(xiàn)半自動或全自動涂膠。另外本儀器采用觸控屏控制，可以預(yù)設(shè)勻膠曲線，大大簡化了使用過程降低了學(xué)習(xí)成本，十分適合實驗室選購。

本儀器采用控制器和主機(jī)分體式，主機(jī)在手套箱內(nèi)，控制器外手套箱外，能防止化學(xué)藥品對屏幕的腐蝕.

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	擺臂勻膠機(jī)
產(chǎn)品型號	CY-SPC8-BB-PP
*大轉(zhuǎn)速	10000 RPM
轉(zhuǎn)速分辨率	1 RPM
*大旋轉(zhuǎn)時間	3000 S
旋轉(zhuǎn)時間分辨率	1 S
*大加速度	5000RPM/S
液體分配	3個蠕動泵 流量范圍0.008ml/min-83.5ml/min
擺臂轉(zhuǎn)速	0-30°/S
腔體尺寸	內(nèi)徑260mm
尺寸	310mm(W)x400mm(D)x250mm(H)
重量	20kg
電源輸入	AC220V   50/60Hz
抽氣速率	50L/min
真空接口	Φ6mm快擰接口