- 磁控濺射鍍膜儀
- 熱蒸發鍍膜儀
- 高溫熔煉爐
- 等離子鍍膜儀
- 可編程勻膠機
- 涂布機
- 等離子清洗機
- 放電等離子燒結爐
- 靜電紡絲
- 金剛石切割機
- 快速退火爐
- 晶體生長爐
- 真空管式爐
- 旋轉管式爐
- PECVD氣相沉積系統
- 熱解噴涂
- 提拉涂膜機
- 二合一鍍膜儀
- 多弧離子鍍膜儀
- 電子束，激光鍍膜儀
- CVD氣相沉積系統
- 立式管式爐
- 1200管式爐
- 高溫真空爐
- 氧化鋯燒結爐
- 高溫箱式爐
- 箱式氣氛爐
- 高溫高壓爐
- 石墨烯制備
- 區域提純爐
- 微波燒結爐
- 粉末壓片機
- 真空手套箱
- 真空熱壓機
- 培育鉆石
- 二硫化鉬制備
- 高性能真空泵
- 質量流量計
- 真空法蘭
- 混料機設備
- UV光固機
- 注射泵
- 氣體分析儀
- 電池制備
- 超硬刀具焊接爐
- 環境模擬試驗設備
- 實驗室產品配件
- 實驗室鍍膜耗材
- 其他產品
CY-SPC8-SS型勻膠機采用真空吸盤設計，可輕松快速地對直徑8英寸以內的晶圓進行溶膠-凝膠法涂覆。該設備搭載高精度電機，*高轉速達5000轉/分鐘，有效保障成膜均勻性。儀器采用觸摸屏控制，可預設涂覆曲線，極大簡化操作流程。
應用領域：
可將液態或膠體材料涂覆于硅片、晶體、石英、陶瓷等基材形成薄膜，主要應用于光刻膠旋涂、生物培養基制備、聚合物薄膜的溶膠-凝膠法制備等場景
技術參數:
|
產品名稱 |
全自動加熱旋涂儀 |
|
型號 |
CY-SPC8-SS |
|
電源 |
AC220V 50Hz |
|
晶圓規格 |
*大值8英寸標準晶圓 |
|
腔室 |
腔體容量：5升 不銹鋼材質 |
|
旋轉 |
旋轉速度：0~5000轉/分鐘 加速度：100~5000轉/秒 速度分辨率：1轉/分鐘 程序：可存儲30條曲線，每條曲線100步 |
|
自動出料 |
點膠臂 管路：三條管路及噴嘴 兼容粘性液體（1000-1500 cps） |
|
手動出料 |
頂蓋可打開，方便手動點膠 |
|
邊緣去除 |
管路：單條管路 流量范圍：5~50毫升/分鐘 液體流量監測：浮球式流量計，帶流量報警 邊緣去除范圍：1~5毫米±0.3毫米 |
|
背面清洗 |
管路：單條管路 流量范圍：20~200毫升/分鐘 液體流量監測：浮球式流量計，帶流量報警 |
|
加熱 |
加熱方式：紅外加熱 加熱溫度：≤150℃ 溫度控制方式：AIP智能溫控控制 |
|
卡盤 |
晶圓固定方式：真空吸附式卡盤，適用于 8 英寸晶圓 卡盤材質：鋁合金 |
|
真空泵 |
無油泵 |
|
操作方法 |
觸摸屏 |
