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產(chǎn)品名稱(chēng)：高真空滑軌爐
產(chǎn)品型號(hào)：
產(chǎn)品廠商：成越科儀
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

本套1200℃快速退火爐核心為一套滑道爐，實(shí)現(xiàn)加熱及退火的功能，進(jìn)氣端配有高精度三路質(zhì)量流量計(jì)，用以**控制管內(nèi)氣氛；同時(shí)設(shè)備配有渦輪分子泵組，能夠快速達(dá)到高真空環(huán)境，*大程度的排除空氣氣氛對(duì)實(shí)驗(yàn)的干擾。滑道爐由1200℃標(biāo)準(zhǔn)單溫區(qū)管式爐和高精度滑軌組成。管式爐采用電阻絲加熱，配合多晶纖維爐膛，升溫、保溫性能**?；壔_(tái)配合緊密，滑動(dòng)順滑，易于操作。同時(shí)管式爐在操作上采用全彩液晶觸控屏進(jìn)行操作，具有簡(jiǎn)單直觀，易于上手的特點(diǎn)，能夠簡(jiǎn)化實(shí)驗(yàn)操作進(jìn)而節(jié)約試驗(yàn)時(shí)間

詳情介紹：

1200℃管式爐技術(shù)參數(shù)：

供電電壓

AC220V，50Hz

*大功率

4KW

加熱溫區(qū)

單溫區(qū) 440mm

工作溫度

≤1200℃

控溫精度

±1℃

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線，可存儲(chǔ)多條

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管尺寸

φ80mm I.D x 1000mm L

密封方式

不銹鋼真空法蘭

真空測(cè)量

機(jī)械式壓力表

工作氣體

氫氣、氮?dú)狻鍤狻⒀鯕獾确歉g性氣體

三路質(zhì)量流量計(jì)參數(shù)：

閥門(mén)類(lèi)型

不銹鋼針閥

氣路數(shù)量

三路

承壓范圍

0.05~0.3MPa

量程

0~100 SCCM (H₂)

0~200 SCCM（Ar）

0~500 SCCM（CH₄）

流量控制范圍

±1.5%

混氣罐容積

750mL

氣路材料

304不銹鋼

管道接口

6.35mm卡套接頭

供電電源

AC220V 50Hz

相關(guān)產(chǎn)品

供電電壓	AC220V，50Hz
*大功率	4KW
加熱溫區(qū)	單溫區(qū) 440mm
工作溫度	≤1200℃
控溫精度	±1℃
控溫方式	AI-PID 30段工藝曲線，可存儲(chǔ)多條
爐管材質(zhì)	高純石英
爐管尺寸	φ80mm I.D x 1000mm L
密封方式	不銹鋼真空法蘭
真空測(cè)量	機(jī)械式壓力表
工作氣體	氫氣、氮?dú)狻鍤狻⒀鯕獾确歉g性氣體

閥門(mén)類(lèi)型	不銹鋼針閥
氣路數(shù)量	三路
承壓范圍	0.05~0.3MPa
量程	0~100 SCCM (H₂) 0~200 SCCM（Ar） 0~500 SCCM（CH₄）
流量控制范圍	±1.5%
混氣罐容積	750mL
氣路材料	304不銹鋼
管道接口	6.35mm卡套接頭
供電電源	AC220V 50Hz

產(chǎn)品名稱(chēng)：高真空滑軌爐