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        產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:電子束蒸發(fā)鍍膜

        • 產(chǎn)品型號:CY-EVP500-EB
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        該設(shè)備以電子束蒸發(fā)方式鍍膜設(shè)備,主要用于制備各種導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預(yù)處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質(zhì)襯底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜。
        詳情介紹:

        設(shè)備技術(shù)參數(shù)

        使用條件

        環(huán)境溫度5℃~40℃   電源:三相380 V,功率:≤20 KW,水壓:≤2.5bar

        真空室尺寸

        蒸發(fā)室尺寸φ500×H500(㎜)

        電子槍

        新型電子槍1套,6穴坩堝

        樣品轉(zhuǎn)盤

        樣品尺寸:≤φ150mm,樣品可旋轉(zhuǎn),也可上下升降調(diào)節(jié)樣品到電子槍距離(樣品托形狀按用戶要求設(shè)計),加熱溫度≤500℃

        系統(tǒng)真空度

        極限真空

        經(jīng)12~24小時烘烤,連續(xù)抽氣≤5x10-5Pa

        抽氣速率

        從大氣開始40分鐘內(nèi)真空度≤5x10-4Pa

        系統(tǒng)漏率

        整機(jī)漏率≤1×10-8Pa.L/s 停泵關(guān)機(jī)12小時后,測量真空室真空度≤10Pa

        抽真空系統(tǒng)

        FB1200分子泵+機(jī)械泵(TRP-36)系統(tǒng),并設(shè)置旁路抽氣

        鍍膜監(jiān)測

        采用SQM160膜厚儀進(jìn)行監(jiān)測

        鍍膜厚度

        鍍膜厚度的不均勻度≤6%

        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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