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- 實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品配件
- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
功能特點(diǎn)：
離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)和真空蒸發(fā)三者有機(jī)結(jié)合起來(lái)，不僅能明顯地改進(jìn)了膜質(zhì)量，而且還擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用范圍。其具有蒸鍍速率快，薄膜附著力強(qiáng)，繞射性好，膜材廣泛等優(yōu)點(diǎn)。十分適合鍍硬質(zhì)保護(hù)膜如TiN等。同時(shí)由于其通過(guò)控制氣氛可以改變膜層顏色，且膜層與基板結(jié)合牢固，故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。
技術(shù)規(guī)格：
多弧離子鍍膜儀
樣品臺(tái)
尺寸
行星式樣品臺(tái)，外徑305mm，四周六工位
工件可懸掛于各工位的支撐棒上
外周轉(zhuǎn)速1~20rpm可調(diào)
多弧離子靶
數(shù)量
φ84mm X 2
真空腔體
腔體尺寸
φ300mm X 400mm
觀察窗口
前置φ100mm含遮光片
腔體材料
304不銹鋼
開啟方式
前開門式
膜厚控制
晶振式膜厚測(cè)量?jī)x，可選多通道膜厚控制儀
真空系統(tǒng)
前級(jí)泵
雙極旋片泵
抽氣接口
KF16
次級(jí)泵
渦輪分子泵
抽氣接口
CF160
真空測(cè)量
電阻+電離 復(fù)合真空規(guī)
排氣速率
機(jī)械泵1.1L/s
分子泵 600L/s
極限真空
1.0E-5Pa
供電電源
AC 220V 50/60Hz
抽氣速率
旋片泵：1.1L/S
控制系統(tǒng)
自動(dòng)控制 操作界面：觸控屏+操作面板
其他
供電電壓
AC380V,50Hz
整機(jī)尺寸
1000mm X 800mm X 1500mm
整機(jī)重量
350kg
整機(jī)功率
5kW
