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功能特點：
離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來，不僅能明顯地改進了膜質量，而且還擴大了薄膜的應用范圍。其具有蒸鍍速率快，薄膜附著力強，繞射性好，膜材廣泛等優點。十分適合鍍硬質保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色，且膜層與基板結合牢固，故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。
技術規格：
多弧離子鍍膜儀
樣品臺
尺寸
行星式樣品臺，外徑305mm，四周六工位
工件可懸掛于各工位的支撐棒上
外周轉速1~20rpm可調
多弧離子靶
數量
φ84mm X 2
真空腔體
腔體尺寸
φ300mm X 400mm
觀察窗口
前置φ100mm含遮光片
腔體材料
304不銹鋼
開啟方式
前開門式
膜厚控制
晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀
真空系統
前級泵
雙極旋片泵
抽氣接口
KF16
次級泵
渦輪分子泵
抽氣接口
CF160
真空測量
電阻+電離 復合真空規
排氣速率
機械泵1.1L/s
分子泵 600L/s
極限真空
1.0E-5Pa
供電電源
AC 220V 50/60Hz
抽氣速率
旋片泵：1.1L/S
控制系統
自動控制 操作界面：觸控屏+操作面板
其他
供電電壓
AC380V,50Hz
整機尺寸
1000mm X 800mm X 1500mm
整機重量
350kg
整機功率
5kW
