產(chǎn)品名稱：桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀

本產(chǎn)品為桌面型小型雙源蒸發(fā)鍍膜儀，設(shè)備安裝有兩套蒸發(fā)源，各蒸發(fā)源分別供電，可交替開啟也可同時(shí)開啟；每個(gè)蒸發(fā)源可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃，能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍，因此被廣泛用于電極的制備和有機(jī)物發(fā)光LED的制備。真空腔體采用不不銹鋼制作，配合分子泵組可達(dá)到5x10^-5Pa極限真空，能夠滿足絕大部分材料蒸發(fā)所需的真空環(huán)境。兩組蒸發(fā)源對(duì)稱放置，每個(gè)蒸發(fā)源均具有單獨(dú)的擋板，可保證鍍膜過(guò)程中不被污染。

小型雙源蒸發(fā)鍍膜技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品型號(hào)	CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS
樣品臺(tái)	外形尺寸	直徑φ60mm
	轉(zhuǎn)速	≦20rpm
	至蒸發(fā)源間距	60～100mm 連續(xù)可調(diào)
熱蒸發(fā)源	配 2 個(gè)鎢舟、2個(gè)鎢絲籃
蒸發(fā)電源	2個(gè)，每個(gè)蒸發(fā)源均配擋板
真空腔體	腔體尺寸	直徑φ170mm，高度210mm
	觀察窗口	直徑φ60mm
	腔體材質(zhì)	304不銹鋼
	開啟方式	上開啟式
膜厚測(cè)量	晶體膜厚測(cè)量?jī)x（也可選膜厚控制儀）
真空系統(tǒng)	前級(jí)泵	雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S
	次級(jí)泵	渦輪分子泵,氣體抽速600L/S
	真空測(cè)量	復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī))
	系統(tǒng)真空	5×10-4Pa
控制系統(tǒng)	CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器
其他參數(shù)	供電電源	AC220V,50Hz
	整機(jī)尺寸	600mm×600mm×750mm
	整機(jī)功率	1200W
	整機(jī)重量	40kg