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本產品為桌面型小型雙源蒸發鍍膜儀，設備安裝有兩套蒸發源，各蒸發源分別供電，可交替開啟也可同時開啟；每個蒸發源可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發溫度可達1800℃，能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍，因此被廣泛用于電極的制備和有機物發光LED的制備。真空腔體采用不不銹鋼制作，配合分子泵組可達到5x10-5Pa極限真空，能夠滿足絕大部分材料蒸發所需的真空環境。兩組蒸發源對稱放置，每個蒸發源均具有單獨的擋板，可保證鍍膜過程中不被污染。
小型雙源蒸發鍍膜技術參數：
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產品名稱 |
桌面型雙源蒸發鍍膜儀 |
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產品型號 |
CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS |
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樣品臺 |
外形尺寸 |
直徑φ60mm |
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轉速 |
≦20rpm |
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至蒸發源間距 |
60～100mm 連續可調 |
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熱蒸發源 |
配 2 個鎢舟、2個鎢絲籃 |
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蒸發電源 |
2個，每個蒸發源均配擋板 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
直徑φ170mm，高度210mm |
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觀察窗口 |
直徑φ60mm |
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腔體材質 |
304不銹鋼 |
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開啟方式 |
上開啟式 |
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膜厚測量 |
晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） |
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真空系統 |
前級泵 |
雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
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次級泵 |
渦輪分子泵,氣體抽速600L/S |
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真空測量 |
復合真空計(電離規+電阻規) |
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系統真空 |
5×10-4Pa |
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控制系統 |
CYKY自研專業級控制器 |
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其他參數 |
供電電源 |
AC220V,50Hz |
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整機尺寸 |
600mm×600mm×750mm |
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整機功率 |
1200W |
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整機重量 |
40kg |
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