產品名稱：CVD培育鉆石設備

CVD培育鉆石是一種由直徑10到30納米鉆石晶體合成的多結晶鉆石，它的化學成分為碳，運用先進的設備模擬大自然中鉆石生長環境，通過化學氣象沉積技術（CVD）栽種而成.

MPCVD單晶金剛石沉積設備

適合的應用:

化學氣相沉積法制備高品質單晶金剛石

化學氣相沉積法制備高品質多晶金剛石自支撐厚膜

化學氣相沉積法制備高品質多晶金剛石薄膜

化學氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜

產品特點：

本產品為不銹鋼腔體式6kw微波等離子體設備，功率密度高；

水冷式基片臺和水冷式金屬反映腔，保證系統能長時間穩定工作；

基片溫度以微波等離子體自加熱方式達到；

真空測量儀表采用全量程真空計，可**測量本底真空和工作氣體壓強；

真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1×10-5Pa)和旋片式機械真空泵(極限真空為1Pa)，系統可自動控制沉積氣壓；

配備冷卻水循環系統，確保裝置高功率下可長時間**穩定運行；

系統帶15寸觸摸屏，PLC自動控制，可設置溫度或氣壓恒定，可保存復用多達20套工藝文件；

全自動工藝控制模塊，可以穩定可靠地制備高品質金剛石薄膜和晶體

技術指標與特性：

微波系統（法國Sairem 微波源）	微波頻率	2450±25MHz
	輸出功率	0.6kw~6kw 連續可調
	微波調諧	三銷釘調配器，模式轉換天線
	微波反射保護	環形器，水負載
	微波工作模式	TM013
	微波泄漏	≤ 2 mw/cm2
真空系統	工作氣壓范圍	10~250Torr
	自動穩壓范圍	40~250Torr
	真空泵	4.4L/s 旋片式真空泵
	系統漏率	<1.0x10-9 Pa?m3 /秒 (通過氦質譜檢漏儀檢測)
	腔體保壓能力	每24 小時壓升小于0.2 乇
	本底極限真空	0.1Pa（7.5 x10-4 Torr)
	真空測量	品牌薄膜規
真空反應腔	反應腔材料及結構	雙層水冷不銹鋼反應腔
	真空密封	金屬密封+氟膠圈密封(取樣門)
	反應腔內徑	直徑140mm
	樣品臺窗口	105x50mm 長方形端口，帶O 形氟橡膠圈密封的前門
	觀察窗口	兩個端口，CF35 大口徑，180°分布
	測溫窗口	兩個窗口水平角度25~30°，180°分布；窗口方便從反應腔上部的 斜角向下檢測樣品臺的溫度
樣品臺	電動升降式水冷基片臺 直徑100mm，高度可調范圍0～70mm
	鉬基片臺直徑≥50mm，在5000w, 180Torr 工作狀態，等離子體火球可覆蓋 整個基片臺
	基片臺溫度 250～1400℃（取決于工藝參數）
氣路	選用日本進口流量計及流量控制閥
	系統自帶四路MFC
	四路MFC *大流速：H2: 1000sccm，CH4：100sccm，O2：20sccm，N2：2sccm
測溫系統	德國Raytek 紅外測溫系統，測溫范圍：300~1300 攝氏度
系統軟件	配置PLC 控制的15“觸摸顯示屏，用戶操作界面友好，所有操作均可在觸摸 屏上完成
	系統支持工程師和操作員兩個用戶級別，提供用戶權限管理功能
	系統自帶缺水，缺氣，電源缺相，火球跳變，過溫過載，打火等自動保護
	可設置多達10 套工藝配方，每套配方有40 行數據，生產流程通過工藝配方自 動控制，工藝數據可通過U 盤備份導出
	系統自帶全自動抽氣，點火，升溫，降溫等預設流程，用戶操作簡便
	全自動溫度控制，氣壓控制，極大減輕系統操作員的工作量