產品名稱：CVD法培育鉆石

人造鉆石是一種由直徑10到30納米的鉆石結晶聚合而成的多結晶鉆石，等離子增強化學氣象沉積PECVD合成法制造，人造鉆石主要用于制造切割工具等工業用途上，同樣也被使用在珠寶首飾上。

技術參數：

微波源	10 kW SAIREM微波發生器 2.45GHz磁控管微波頻率 循環器和隔離器 自動操作的EH-tuning元件
等離子源	◆6"等離子源，激發頻率2.45GHz ◆能夠在低到高功率密度等離子體中工作 ◆獨特的高功率密度溫度控制能力 ◆氣體從下側進入腔室 ◆偏置電極
基板支架	◆可更換基板支架： ◆冷卻元件（約D75mm） ◆可更換支架板，便于清潔和維護 ◆鉬等離子接觸件 ◆生長過程中自動調整高度
小木屋	◆蛤殼式蓋子，便于基板放置和清潔 ◆水冷鋁合金結構 氣體管理系統 ◆5條氣體管線，包括5個質量流量控制器（根據要求添加） ◆MFC系統 ◆壓力控制器范圍：100-300mbar
真空	◆渦輪分子泵+干式初級泵
CVD控制器	◆電腦控制器配方驅動操作 ◆遠程控制、檢測、系統升級 ◆基板攝像頭（可選） ◆ 高溫計范圍：400-1700°C