產品名稱：5英寸近源有機物蒸發鍍膜爐

近源有機物蒸發鍍膜爐是一種雙加熱區快速熱處理爐，具有11"外徑的石英管。它是專為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離蒸發鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部)，zui大加熱速率20oC/s。兩個30段精密溫度控制器內置，精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件，允許通過PC操作爐子和溫度曲線記錄。它是研究新一代太陽能電池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽能電池.

5英寸近距離蒸發鍍膜爐技術參數：

產品名稱	5英寸近距離蒸發鍍膜爐
產品型號	CY-EVH350JJL-5"-SS
樣品臺	外形尺寸	5"x5"
	轉速	1-20RPM
	可調溫度	≦950℃
熱蒸發源	20個紅外燈管作為加熱元件
真空腔體	腔體尺寸	350 mm Dia x 300 mm h
	觀察窗口	100 mm
	腔體材質	304不銹鋼
	開啟方式	前開門式
膜厚測量	晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀）
真空系統	配有一套分子泵系統
	系統真空	1×10-5Pa
流量計	兩路浮子流量計 16 -160 mL/m  500 - 5000 mL/m
工作溫度	每個加熱器的*高溫度：RT-950℃。 兩個加熱器之間的*大溫差：<= 300oC 取決于兩個加熱器之間的間距：間距 30mm *大。 溫差：315oC @ 僅加熱底部
溫控系統	兩個精密的溫控系統分別獨立控制上下兩個加熱區，可設置30段升降溫程序 每個溫控系統都帶有超溫和斷偶保護
水    冷	循環水冷機（KJ-5300型，16L/min)
控制系統	CYKY自研專業級控制器
其他參數	供電電源	208V 60HZ  三相
	整機尺寸	600mm×650mm×1500mm