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        • 1200℃雙溫區3路質... 1200℃雙溫區3路質量供氣低真空CVD系統由雙溫區管式爐、三路質量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐兩個溫區分別由精密...
        • 1500℃單溫區3路質... 1500℃單溫區3路質量流量計高真空CVD系統由1500℃單溫區管式爐、三路質量流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密...
        • 1500℃單溫區3路浮... 1500℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統由1500℃單溫區管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控...
        • 1200℃雙溫區3路浮... 1200℃雙溫區3路浮子供氣高真空CVD系統由雙溫區管式爐和三路浮子流量計組成。管式爐兩個溫區分別由精密控溫儀表獨立控溫...
        • 1500℃單溫區3路質... 1500℃單溫區3路質量供氣低真空CVD系統由1500℃單溫區管式爐、三路質量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控...
        • 1500℃單溫區3路浮... 1500℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統由1500℃單溫區管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控...
        • 雙溫區CVD系統 雙溫區CVD系統由1200℃雙溫區管式爐、雙通道質量流量計和低噪音雙極旋片真空泵組成。雙溫區CVD系統管式爐的兩個溫區分...
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